1：机组由旋片真空泵，罗茨真空泵，扩散泵组成。
2：真空度可达到10-5pa，抽速大，功率低。
3：开机有先后顺序：先开旋片泵，达到罗茨泵启动压力，再开罗茨泵，系统压力达到扩散泵压力，再开扩散泵。
4：旋片，罗茨真空泵加普通真空泵油，扩散泵加扩散泵 专用油。
